JSM-PI 폴리이미드는 황산 진스무 플라스틱 테크놀로지 주식회사가 개발 및 생산하는 고성능 특수 엔지니어링 플라스틱입니다. 고온 안정성, 기계적 특성, 전기 절연성, 화학적 안정성, 낮은 열팽창 계수, 치수 안정성, 낮은 가스 발생 및 가공 성능이 뛰어나 반도체 제조 공정의 핵심 소재로 사용되고 있으며 웨이퍼 제조, 패키징 테스트 및 기타 링크에 널리 사용됩니다.
- 고온 안정성
적용 분야: 고온 환경의 웨이퍼 캐리어 및 고정 장치에 사용됩니다.
장점: 300°C 이상에서도 안정성을 유지할 수 있어 반도체 제조 시 고온 공정에 적합합니다. - 우수한 기계적 성질
응용 분야: 로봇 팔, 컨베이어 벨트 등 자동화 장비 구성 요소를 제조하는 데 사용됩니다.
장점: 고강도, 고강성으로 고속 작동 시 장비의 신뢰성을 보장합니다. - 좋은 전기 절연성
용도 : 절연부, 전달물질 등에 사용
장점: 높은 저항률과 낮은 유전율로 불량률을 낮춥니다. - 화학적 안정성
용도: 화학기계연마(CMP) 패드, 세척장비 부품 등에 사용됨.
장점: 유기 용매에 강하고 혹독한 화학 환경에 적합합니다. - 낮은 열팽창 계수
용도: 포토리소그래피 장비의 마스크, 기판 등에 사용됨.
장점: 열팽창 계수가 실리콘과 비슷하여 열 응력이 줄어들고 장치 신뢰성이 향상됩니다. - 우수한 치수 안정성
용도: 정밀금형, 위치결정장치 등에 사용됨.
장점: 온도 및 습도 변화에도 치수 안정성을 유지하여 제조 정확성을 보장합니다. - 낮은 가스 방출
용도: 진공 챔버 라이너 등 진공 환경의 부품에 사용됩니다.
장점: 진공 및 고온에서 가스 발생이 적어 오염을 피할 수 있습니다. - 좋은 처리 성능
용도: 커넥터, 씰 등 복잡한 모양의 부품에 사용됨
장점: 혹독한 환경에서도 지속적으로 치수 안정성을 유지합니다.